第一讲 绪论第一讲 作业1、什么是薄膜？
2、薄膜制备方法分类。
3、薄膜应用领域举例。
第二讲 真空第二讲 作业1、真空的定义
2、名词解释：饱和蒸汽压
3、名词解释：分子平均自由程
4、气体分子的流动状态可以分为哪几种？描述其主要特征
5、真空系统由哪些构件组成？
6、举例说明真空泵有哪些类型？
第三讲 蒸发第三讲 作业1、饱和蒸汽压与温度的关系？
2、物质的蒸发速率与哪些因素有关？
3、点蒸发源和小平面蒸发源的膜厚分布特性
4、比较说明常见蒸发镀膜方法的原理、特点及适用的材料。
第四讲 溅射第四讲 作业1、阐述溅射的主要过程
2、什么是溅射产额？溅射产额与哪些因素有关？
3、溅射沉积的优点有哪些？
4、溅射适合用于合金薄膜沉积吗？
5、射频溅射时，为什么不会对基片进行溅射？
第五讲 化学气相沉积第五讲 作业1、cvd原理、特点及分类
2、cvd的主要反应类型有哪些？
3、lpcvd工作原理及特点
4、pecvd的原理、优点以及产生等离子体的主要方法
5、mocvd的原理、优点
第六讲 溶液镀膜法第六讲 作业1、什么是化学镀？它与电镀的主要区别什么？
2、溶胶-凝胶镀膜法的特点和主要过程
3、阳极氧化镀膜和电镀的原理及特点。
4、什么是lb镀膜技术？lb薄膜的主要类型
第七讲 薄膜的生长及结构第七讲 作业1、简要阐述薄膜薄膜的生长过程
2、薄膜生长有哪几种模式？
3、连续薄膜形成的三种机制是什么？其驱动力是什么？
4、自发形核与非自发形核的主要区别？
第八讲 薄膜的表征方法第八讲 作业1、简要阐述三种薄膜厚度的测试方法
2、晶体振荡法测试薄膜厚度的缺点有哪些？
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